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單晶爐熱場固化氈底盤

 

固化氈底盤
固化氈反射板
碳碳加熱器
固化氈保溫筒
碳碳坩堝
碳碳襯套
固化氈保溫蓋板
固化氈一體導流筒

固化氈底盤
【產品材料】  使用的是固化保溫氈
【產品指標】  RFI2000
【密       度】  ≤0.2g/cm3
【其       他】  金屬雜質含量<100ppm,無揮發(fā)物,導熱系數(shù)<0.3w/m.k
采取熱導率低的碳纖維材料,降低單晶爐熱場中 的熱損失,起到隔熱保溫的作用。(低密度)

 

產品詳情
底板通常由碳纖維固化氈制成,重量小,大大降低了成本;具有特殊結構,不僅保溫效果好,能滿足使用要求,更增加了導氣孔,廢氣排放更通暢,相對于現(xiàn)有單晶爐節(jié)能可提高20%以上;同時使單晶爐中的熔硅和晶體具有較好的縱向溫度梯度,利于提高單晶硅晶體生長的成品率;結構簡單,安裝、清理方便,提高了工作效率。
產品核心技術
底部保溫板為用硬氈材料制成的底座,所述底座上部中心處設有圓形凹槽,圓形凹槽的側面設有與堝托底部相適配的坡面,圓形凹槽的槽底與堝托之間設有內腔,圓形凹槽的槽底中心處有一個堝桿安裝孔,底座側面上設有2個以上的將內腔與外部連通的導氣孔,底座的底部還設有加熱器安裝孔。這樣設計的底部保溫板重量小,大大降低了成本;具有特殊結構,不僅保溫效果好,能滿足使用要求,更增加了導氣孔,廢氣排放更通暢;結構簡單,安裝、清理方便,提高了工作效率。

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